无掩模光刻机

无掩模光刻机,3D光刻设备

基本信息

无掩模光刻机

无掩模光刻机插图

光刻应用

平面光刻

无掩模光刻机插图1无掩模光刻机插图2

灰度光刻(支持256阶灰度光刻)

无掩模光刻机插图3

光刻图像3D重构

无掩模光刻机插图4

 

 

 

 

超高精度3D光刻设备

超高精度3D光刻设备

无掩模光刻机插图

3D光刻案例

MEMS 微机械器件 —— 微机械器件涡轮

无掩模光刻机插图1

设备可以广泛应用各种MEMS产品领域,也可满足一些领域的特殊需求,诸如微器件封装、热管器件、医疗器械等。可以直接、快速、批量生产出复杂、高深宽比的三维微结构。

航空航天 —— 机械超材

无掩模光刻机插图2

模仿许多天然硅质骨架物种的构造,设备可用于加工结构仿生学的机械超材料结构,这些结构往往具有高强度、超低密度、可扩展性以及高压缩和超弹性拉伸性的超机械性能。可广泛应用于航空航天等领域。

仿生学 —— 超疏水表面

无掩模光刻机插图3

可用于超疏水表面的研究。超疏水材料表面所具有的不浸润性及低表面粘滞力,使其在微流体控制方面具有出色的表现。如控制微液滴的运动和流动,并以此制造微液滴控制针头,使得在实验或者生产过程中对液体滴加计量能够精确控制。

微流控 —— 引射器

无掩模光刻机插图4

设备可用于加工微米级的引射器,由于微米级的尺寸结构,流体在微流控芯片中显现出与宏观尺度不同的流体力学特性。引射器是一种利用高速高能流引射另一股低速低能流的装置,射流经收缩形喷嘴迸入混合室,通过边界的参混作用,引射流将能量传递给被引
射流。

组织工程 —— 毛细血管

无掩模光刻机插图5

人工制造小管径的毛细血管是一个行业难题和技术瓶颈,设备适用于光刻血管、细胞、生物支架, 细胞活性因子和构建 3D 细胞-生物支架材料复合物,最终获得
人造器官。

生物医疗 —— 生物支架料

无掩模光刻机插图6

设备可用于再生组织领域, 包含微纳纤维、3D支架组织材料制造等方面。具有高精度,高效率的特点;能够兼容多种生物材料和衬底, 在生物技术和医疗等领域
具有良好的应用前景和巨大的潜能。

工业应用 —— 螺钉

无掩模光刻机插图7

在一些微小结构的连接中,可能难于使用焊接或者整体成型的注塑方式,只能使用螺钉来连接,而批量设计不同规格的螺钉需要高昂的开模费用,且加工难度巨大,所以使用微纳3D光刻技术可以完美解决这类痛点。

工业应用 —— 精密连接器

无掩模光刻机插图8

在集成电路板设计验证早期,一些精密的串口连接器制造是行业的痛点难题,制造商会面临着加工难,更换设计周期长的问题,如果使用微纳3D光刻技术,可以大大缩短早期设计验证的周期,提速产品定型。

3D光刻图样

无掩模光刻机插图9

Bird Nest
鸟巢

整体尺寸:
7.1 mm × 6 mm × 2.9 mm
15.2 mm × 13.7 mm × 6 mm
· 特征立柱:宽100 μm & 150 μm
· 加工设备:织雀 ? 系列
· 光学精度:10 μm & 20 μm
· 材料:RA05 & CL01

无掩模光刻机插图10

Eiffel Tower

埃菲尔铁塔

整体尺寸:
7.5 mm × 7.5 mm × 16.5 mm
· 特征立柱:宽 40 μm
· 加工设备:织雀 ? 系列
· 光学精度:20 μm
· 材料:CL01

无掩模光刻机插图11

The Hall of Prayer for Good Harvest

祈年殿

整体尺寸:
13 mm × 6.5 mm × 10.2 mm
· 特征立柱:宽160 μm
· 加工设备:织雀 ? 系列
· 光学精度:20 μm
· 材料:HT03

无掩模光刻机插图12

Lattice

晶格

立方尺寸:
2.4 mm × 1.2 mm × 3.9 mm
· 特征立柱:宽10 μm
· 加工设备:织雀 ? 系列
· 光学精度:5 μm
· 材料:RA05

无掩模光刻机插图13

Hollow Cube

镂空立方

整体尺寸:
7.2 mm × 8.6 mm × 9.3 mm
4.0 mm × 4.5 mm × 5 mm
3.0 mm × 3.4 mm × 3.9 mm
· 特征立柱:宽 200 μm & 100 mm
& 75 mm
· 加工设备:织雀 ? 系列
· 光学精度:20 μm & 10 μm
· 材料:HT03 & RA05

无掩模光刻机插图14

Lattice

晶格

整体尺寸:
14.2 mm × 8.0 mm × 8.8 mm
· 特征立柱:宽350 μm
· 加工设备:织雀 ? 系列
· 光学精度:20 μm
· 材料:RA05

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