SmarAct CLS直线纳米位移台

可更换摩擦元件,压电驱动线性位移台。通过更换摩擦元件延长使用寿命,并且不牺牲性能。可达1nm分辨率。有超高真空、无磁等环境选项可选。

基本信息

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CLS系列直线纳米位移台-可更换摩擦元件EDU设计

SmarAct CLS直线纳米位移台插图1

CLS-32系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
CLS-3232 21 mm ?32 x 32 x11 mm3 33 g
CLS-3252 31 mm 32 x 52 x 11 mm3 54 g
CLS-3282 51 mm 32 x 82 x 11 mm3 87 g
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:3kg
  • Z向使用举力>1.5N

CLS-52系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
CLS-5252 31 mm 52 x 52 x 14 mm3 94 g
CLS-5282 51 mm 52 x 82 x 14 mm3 157 g
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:2kg
  • Z向使用举力>1N

CLS-92系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
CLS-9292 63 mm 92 x 92 x 17 mm3 357 g
CLS-92152 103 mm 92 x 152 x 17 mm3 591 g
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:3kg

其他参数及选项

  • 开环控制
    • 速度>20mm/s
    • 分辨率<1nm
  • 闭环控制
    • 分辨率(MCS2控制器):1nm(-S), 4nm(-L)
    • 双向全行程重复精度(MCS2控制器):±50nm(-S), ±100nm(-L)
    • 分辨率(SCU控制器):4nm(-L)
    • 全行程重复精度(SCU控制器):±1000nm(-L)
  • 材质选项:标准铝座材质,钛座材质(-TI)
  • 真空兼容性:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
  • 无磁选项:-NM
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