SmarAct MLS电磁驱动直线纳米位移台

电磁驱动线性纳米位移台。位置精度3nm,无磨损,长寿命,900mm/s高速移动。

基本信息

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MLS系列直线纳米位移台-电磁驱动技术

SmarAct MLS电磁驱动直线纳米位移台插图1

MLS-32系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
MLS-3252 25 mm 32 x 52 x 15 mm3 80 g
  • 连续力:1N
  • 峰值力:2.5N
  • 垂直负载:1kg
  • 移动质量:40g
  • 闭环控制
    • 速度:350mm/s (半行程,无负载)
    • 最大加速度:50m/s2(无负载)
    • 定位稳定性:3nm
    • 全行程重复精度(MCS2控制器):±50nm(单向), ±200nm(双向)

MLS-52系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
MLS-5282 38 mm 52 x 82 x 14 mm3 200 g
  • 连续力:2N
  • 峰值力:5N
  • 垂直负载:2kg
  • 移动质量:100g
  • 闭环控制
    • 速度:750mm/s (半行程,无负载)
    • 最大加速度:45m/s2(无负载)
    • 定位稳定性:3nm
    • 全行程重复精度(MCS2控制器):±50nm(单向), ±200nm(双向)

MLS-92系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
MLS-92122 65 mm 92 x 122 x 17 mm3 640 g
  • 连续力:7.5N
  • 峰值力:22N
  • 垂直负载:5kg
  • 移动质量:400g
  • 闭环控制
    • 速度:900mm/s (半行程,无负载)
    • 最大加速度:45m/s2(无负载)
    • 定位稳定性:3nm
    • 全行程重复精度(MCS2控制器):±50nm(单向), ±200nm(双向)

其他参数及选项

  • 材质选项:标准铝座材质
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