SmarAct SGO角位移台

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

基本信息

SmarAct SGO角位移台插图

SmarAct角位移台

SmarAct可提供各种半径的SGO系列角位移台

SmarAct SGO角位移台插图1

型号 半径 体积 行程
SGO-60.5 60.5 mm 50 x 50 x 17 mm3 ± 5 °
SGO-77.5 77.5 mm 50 x 50 x 17 mm3 ± 5 °
SGO-93.5 93.5 mm 50 x 50 x 17 mm3 ± 5 °

其他参数及选项

  • 开环步进:0.7-7 μrad
  • 压电扫描范围:10.5 μrad
  • 压电扫描精度:0.01 μrad
  • 速度:4 °/s
  • 垂直负载:500g
  • 可选闭环驱动器及分辨率
    • -M: 1.5 μrad(MCS控制器), 4.5 μrad(HCU/CU控制器)
    • -L: 0.12 μrad(MCS控制器), 1.5 μrad(HCU/CU控制器)
    • -S: 0.03 μrad/2μ°(MCS控制器)
  • 高真空和超高真空选项:-HV(10-6 mbar), ?-UHV(10-11 mbar)
  • 长寿命导轨选项:-Z
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